光刻机是干什么用的?
光刻机是一种利用光线进行雕刻的机器,用来达到光线侵蚀光刻胶的目的。所以光刻机就是通过透镜把一个大的电路图缩小到芯片的大小,然后用光腐蚀光刻胶,达到自动形成电路的目的。
掩模对准器是非常复杂的机器。目前在光刻机方面最有实力的厂商是荷兰的阿斯麦,他们已经可以生产5nm线的光刻机。
掩模对准器的分类
光刻机按照操作的简单程度一般分为三种:手动、半自动和全自动。
手动:指对准的调整方式,通过手动调整旋钮改变其X轴、Y轴和thita角度来完成对准,对准精度不高。
半自动:是指可以通过电轴根据CCD进行定位和调准。
自动:指从基板上传和下载。曝光持续时间和周期由程序控制。自动光刻机主要满足工厂对加工能力的需求。